发明名称 FOLD-BACK INTERFERENCE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08233548(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950037299 申请日期 1995.02.24
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME;YAMAMOTO TAKAHIRO
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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