发明名称 INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08236710(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19960000063 申请日期 1996.01.04
申请人 AT & T CORP 发明人 KUOOFUA RII;CHIENNFUA DAGURASU YUU
分类号 H01L21/322;H01L21/316;H01L21/66;H01L21/8244;H01L27/10;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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