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发明名称
ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08236055(A)
申请公布日期
1996.09.13
申请号
JP19950067088
申请日期
1995.02.28
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
TAKAHASHI MASATO
分类号
H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
H01J27/08
代理机构
代理人
主权项
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