| 发明名称 |
PLASMA CHAMBER WITH FIXED RF MATCHING CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08236412(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
| 申请号 |
JP19950312659 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
JIYUN TSUAO;SUTEFUAN URUFU;KENESU SUMISU;UIRIAMU NIKUSON TEIRAA JIYUNIA;JIERARUDO MAKUNATSUTO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
