发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING SURFACE CONTAMINATION
摘要
申请公布号 JPH08233746(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950035073 申请日期 1995.02.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIYATA NORIYUKI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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