发明名称 |
PRESSURE SENSOR AND PREPARATION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08233672(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
申请号 |
JP19950326190 |
申请日期 |
1995.11.22 |
申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RARUFU KATANESUKU;TOOMASU SHIYAITAA;KURISUTOFUAA HIIRORUTO |
分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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