发明名称 PRESSURE SENSOR AND PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08233672(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950326190 申请日期 1995.11.22
申请人 SIEMENS AG 发明人 RARUFU KATANESUKU;TOOMASU SHIYAITAA;KURISUTOFUAA HIIRORUTO
分类号 G01L9/12;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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