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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08236298(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950332165 申请日期 1995.12.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE KATSUYA;KAJI TETSUNORI;TAMURA NAOYUKI;NAKADA KENJI;SHICHIDA HIROYUKI;WATANABE SEIICHI;OKUDAIRA SADAYUKI;SUZUKI KEIZO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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