发明名称 FORMATION OF CONTACT WINDOW
摘要
申请公布号 JPH08236475(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950034853 申请日期 1995.02.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 KENO TAKUJI;OGIWARA ATSUSHI;EDA KAZUO
分类号 H01L21/28;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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