| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR NONTOUCH CORONA OXIDE SEMICONDUCTORQ-V MOVEMENT ELECTRIC CHARGE MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08236591(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
| 申请号 |
JP19950337121 |
申请日期 |
1995.12.25 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
ROJIYAA REONAADO BUERUKUIRU;MIN SUU FUN |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;G01R31/265;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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