| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE AND MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM AND COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE EPITAXIAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08236447(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
| 申请号 |
JP19950037866 |
申请日期 |
1995.02.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
BUSSHU TERUO;OUCHI KIYOSHI;HOSOMI KAZUHIKO |
| 分类号 |
C30B23/00;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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