发明名称 FORMING METHOD FOR PLURAL-LAYER-STRUCTURAL SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08236860(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950353383 申请日期 1995.12.29
申请人 XEROX CORP 发明人 KEBUIN JIEI BIANINKU;ROBAATO ERU SOONTON;DEEBITSUDO PII BOAA;TOOMASU ERU PAORI;JIYATSUKU UOOKAA
分类号 H01S5/00;H01L21/18;H01S5/34;H01S5/343;H01S5/40;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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