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经营范围
发明名称
HIGH-SPEED ATOMIC BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08233998(A)
申请公布日期
1996.09.13
申请号
JP19950034553
申请日期
1995.01.31
申请人
EBARA CORP
发明人
NAITO YOSHIHIKO;OBATA TADASUKE
分类号
G21K1/14;H05H3/02;(IPC1-7):G21K1/14
主分类号
G21K1/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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