发明名称 CONDENSING BEAM SPOT DIAMETER MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08233652(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950038110 申请日期 1995.02.27
申请人 NEC CORP 发明人 MUKODA MASARU
分类号 G01B11/08;G01J1/02;G01J1/42;(IPC1-7):G01J1/02 主分类号 G01B11/08
代理机构 代理人
主权项
地址