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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CHAMFERING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH08236486(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950064700 申请日期 1995.02.27
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 MATSUMOTO MASAYUKI;OTA KIYOMASA;KITAMURA YOSHIKI;TAKAISHI KAZUNARI;HIRAYAMA KENICHI
分类号 B24B9/00;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
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