发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08236560(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
申请号 |
JP19950041513 |
申请日期 |
1995.03.01 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUCHI TAKU;UDA TAKAYUKI |
分类号 |
B29C45/02;B29C45/14;H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56 |
主分类号 |
B29C45/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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