发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08236560(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950041513 申请日期 1995.03.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI TAKU;UDA TAKAYUKI
分类号 B29C45/02;B29C45/14;H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 B29C45/02
代理机构 代理人
主权项
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