| 发明名称 |
METHOD OF COATIN SURFACE OF SUBSTRATE WITH POLYMER SOLUTION AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08236436(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
| 申请号 |
JP19950277736 |
申请日期 |
1995.10.25 |
| 申请人 |
SILICON BAREI GROUP INC |
发明人 |
ROBAATO PII MANDARU;DONARUDO AARU SOOAA;JIEIMUZU SUII GURANBOU;TETSUDO SUII BETSUTSU;EMIIRU GARAA;EDOMANDO AARU UOODO |
| 分类号 |
G03F7/16;B01J19/00;B05C5/00;B05C11/06;B05D1/00;B05D3/04;G03F1/16;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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