发明名称 PREPARATION OF HETEROSTRUCTURE OF GROUP III-V CONTAINING AS
摘要
申请公布号 JPH08236444(A) 申请公布日期 1996.09.13
申请号 JP19950344068 申请日期 1995.12.28
申请人 XEROX CORP 发明人 ROBAATO ERU SOONTON;ROSU DEII BURINGANSU;JII EI NEBUIRE KONNERU;DEEBITSUDO DABURIYU TORIITO;DEEBITSUDO PII BOAA;FUERUNANDO EI PONSE;NOOBURU EMU JIYONSON;KEBUIN JIEI BIANINKU
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01S5/00;H01S5/227;H01S5/34;H01S5/343;(IPC1-7):H01L21/20;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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