| 发明名称 |
BARREL TYPE VAPOR GROWTH DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08236463(A) |
申请公布日期 |
1996.09.13 |
| 申请号 |
JP19950066983 |
申请日期 |
1995.02.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TOMITA MUNENORI;TASHIRO TOMOHIRO |
| 分类号 |
C30B25/10;C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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