| 申请人 |
RICHARD HIRSCHMANN GMBH & CO, 73728 ESSLINGEN, DE;IMM INSTITUT FUER MIKROTECHNIK GMBH, 55129 MAINZ, DE |
发明人 |
MOSER, HERBERT O., DIPL.-PHYS. DR., 76227 KARLSRUHE, DE;WEBER, LUTZ, DIPL.-PHYS., 55288 GABSHEIM, DE;MICHEL, FRANK, DIPL.-ING. DR., 55268 NIEDER-OLM, DE;GIEBEL, LUDWIG, 55129 MAINZ-EBERSHEIM, DE;BAUER, HANS-DIETER, DIPL.-PHYS. DR., 55288 PARTENHEIM, DE;FRANK, EWALD, DIPL.-ING. (FH), 73773 AICHWALD, DE;WIDMANN, UWE, DIPL.-ING. (FH), 73207 PLOCHINGEN, DE;GOEHRIG, MARTIN, DIPL.-ING. (FH), 73730 ESSLINGEN, DE;HOERCHER, GUENTER, DIPL.-ING., 73230 KIRCHHEIM, DE |
