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发明名称 Molekularvakuumpumpe mit Kühlgaseinrichtung und Verfahren zu deren Betrieb
摘要
申请公布号 DE19508566(A1) 申请公布日期 1996.09.12
申请号 DE1995108566 申请日期 1995.03.10
申请人 BALZERS-PFEIFFER GMBH, 35614 ASLAR, DE 发明人 CONRAD, ARMIN, 35745 HERBORN, DE
分类号 F04D19/04;F04D29/58;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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