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发明名称 Kathodenanordnung für eine Vorrichtung zum Zerstäuben von einem Target-Paar
摘要
申请公布号 DE19508405(A1) 申请公布日期 1996.09.12
申请号 DE19951008405 申请日期 1995.03.09
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SAUER, ANDREAS, 63743 ASCHAFFENBURG, DE;SCHUHMACHER, MANFRED, 63755 ALZENAU, DE;KUNZ, HANS, 63594 HASSELROTH, DE;SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;MARQUARDT, DIETMAR, 63526 ERLENSEE, DE
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;H05H1/46;C23C14/22 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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