发明名称 高压横向装置之区域有效布局
摘要 揭示一种横向半导体装置,具有第一类传导率之半导体本体及一具有与第一类相反之第二类传导率之漂移区,形成于半导体本体表面。一泄区形成于漂移区,包括一端部具有一表面面积,包括一预定曲率半径表面及一第一表面宽度;一转移部分,其中宽度自第一宽度收缩成第二表面宽度;及一中介部分,具有第二设计式样宽度,一源区形成于漂移区且与泄区间隔。
申请公布号 TW285762 申请公布日期 1996.09.11
申请号 TW084101218 申请日期 1995.02.11
申请人 电话电报股份有限公司 发明人 穆罕默德.希毕
分类号 H01L21/72;H01L27/105 主分类号 H01L21/72
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼;林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1. 一种横向半导体装置包含: 一第一传导率类别的半导体本体; 一与第一传导率类别相反之第二传导率类别之漂 移区,形 成于半导体本体表面; 一泄区形成于漂移区中及具有一表面面积包括一 端部分具 有一预定表面曲率半径及一第一表面具有一传移 部分,其 中设计式样宽度自第一宽度收缩成第二表面宽度, 及一中 介部分具有第二宽度;及 一源区形成于漂移区及与泄区相间隔。2. 如申请 专利范围第1项之横向半导体装置,其中第一表 面宽度大于第二表面宽度。3. 如申请专利范围第1 项之横向半导体装置,其中泄区预 定表面曲率半径之选择可使泄区支持一该装置预 定最小崩 溃电压。4. 如申请专利范围第3项之横向半导体装 置,其中装置崩 溃电压大于300伏特。5. 如申请专利范围第1项之横 向半导体装置,其中源区与 泄区均匀间隔。6. 如申请专利范围第1项之横向半 导体装置,其中泄区系 第二传导率类别其掺杂物浓度大于漂移区。7. 如 申请专利范围第6项之横向半导体装置,其中第二 传 导率类别源区的掺杂物浓度大于漂移区。8. 如申 请专利范围第7项之横向半导体装置,另包含第一 传导率类别之通道本体,其掺杂物浓度大于半导体 本体, 通道本体实质包围源区。9. 如申请专利范围第8项 之横向半导体装置,其中半导体 本体系P型,漂移区系N型,源及泄区系N+型,而通道本 体系P型。10. 如申请专利范围第6项之横向半导体 装置,其中源区 系第一传导率类别,其掺杂物浓度大于半导体本体 。11. 如申请专利范围第10项之横向半导体装置,其 中半导 体本体系P型,漂移区系N极,阳极区系P+型,而源区系 P 型。12. 如申请专利范围第1项之横向半导体装置, 其中源区 有一表面面积包括一端部分具有一预定表面曲率 半径及第 一表面宽度,一转移部分其中表面宽度自第一宽度 收缩成 第二表面宽度,及一中介部分具有第二宽度。13. 如申请专利范围第12项之横向半导体装置,其中源 区 及泄区系在漂移区上形成一交替构造。14. 一种横 向MOS构造包含: 一第一传导率类别之半导体本体; 一第二传导率类别漂移区形成于半导体本体表面 上; 一第二传导率类别泄区在漂移区内形成一泄区接 合处,泄 区具有一端部分至少在一点上具有一第一横向表 面宽度, 一转移部分自第一宽度收缩成第二横向表面宽度, 及一中 介部分具有第二宽度; 一第二传导率类别源区在漂移区内形成一源接合 处;及 一第一传导率类别通道本体实质包围源区; 其中泄区接合处在泄区端部分有一预定最小曲率 半径,及 泄区接合处在转移部分有一较大的曲率半径。15. 如申请专利范围第14项之横向MOS构造,其中第一横 向表面宽度大于第二横向表面宽度。16. 如申请专 利范围第14项之横向MOS构造,其中泄区接 合处预定最小曲率半径之选择使泄区可支持该构 造预定崩 溃电压。17. 如申请专利范围第16项之横向MOS构造, 其中构造之 崩溃电压系大于300伏特。18. 如申请专利范围第14 项之横向MOS构造,其中泄区与 源区均匀间隔。19. 如申请专利范围第14项之横向 MOS构造,其中泄区及 源区之掺杂物浓度较漂移区为高,及通道本体掺杂 浓度为 大于半导体本体。20. 如申请专利范围第19项之横 向MOS构造,其中半导体 本体系P型,漂移区系N型,源及泄区系N+型,而通道本 体为P型。21. 一种二极体构造包含: 一第一传导率类别半导体本体; 一第二传导率类别漂移区形成于半导体本体表面 上; 一第二传导率类泄区于漂移区内形成泄区接合处, 泄区具 有一端部分至少在一点具有一最大横向表面宽度, 一转移 部分自最大宽度收缩成最小横向表面宽度,及一中 介部分 具有最小宽度;及 一第一传导率类别源区在漂移区内形成一源区接 合处; 其中泄区接合处有在泄区端部分具有一预定最小 曲率半径 ,及泄区接合处在转移部分具有较大的曲率半径。 22. 如申请专利范围第21项之二极体构造,其中泄区 接合 处预定最小曲率半径之选择使泄区可支持构造之 预定崩溃 电压。23. 如申请专利范围第22项之二极体构造,其 中构造的崩 溃电压大于300伏特。24. 如申请专利范围第21项之 二极体构造,其中源区与泄 区均匀间隔。图示简单说明: 第1图系横向半导体装置横截面; 第2图系横向半导体装置顶视图; 第3图系另一实施例横向半导体装置之顶视图; 第4图系第二个另外的横向半导体装置实施例之截 面图;
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