| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING REGISTRATION BETWEEN LAYERS OF A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0457843(B1) |
申请公布日期 |
1996.09.11 |
| 申请号 |
EP19900904088 |
申请日期 |
1990.02.08 |
| 申请人 |
INTERACTIVE VIDEO SYSTEMS, INC. |
发明人 |
INTO, STEPHEN, W. |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/956;G03F7/20;H01L21/02;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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