发明名称 防止含杂绝缘层吸潮的方法
摘要 本发明公开了一种防止含杂绝缘层吸潮的方法,其包括步骤:在一个基底上形成一个含杂绝缘层;和在含杂绝缘层上涂覆一层醇基物质,形成一个醇膜。
申请公布号 CN1130805A 申请公布日期 1996.09.11
申请号 CN95119957.9 申请日期 1995.11.02
申请人 现代电子产业株式会社 发明人 李相奎
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 马涛
主权项 1、一种防止含杂绝缘层吸潮的方法,包括步骤:在一个基底上形成一含杂绝缘层;和在所述含杂绝缘层上涂覆一层醇基物质,以形成一醇膜。
地址 韩国京畿道