发明名称 Method for forming polycrystalline silicon contacts
摘要
申请公布号 EP0404372(B1) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 EP19900305951 申请日期 1990.05.31
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 SPINNER, CHARLES RALPH;CHEN, FUSEN E.;LIOU, FU-TAI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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