| 发明名称 |
Forming intrmetallic insulating layers using different concentrations of TEOS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2298658(A) |
申请公布日期 |
1996.09.11 |
| 申请号 |
GB19960004622 |
申请日期 |
1996.03.04 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIAL CO LTD |
发明人 |
GYUNG-SU CHO |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/40;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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