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发明名称 Surface inspection apparatus
摘要
申请公布号 EP0525286(B1) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 EP19920103251 申请日期 1992.02.26
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人 MALIN, COSMAS, DIPL. EL. ING./ETH;STEIGMEIER, EDGAR F., DR. ING./ETH;NESENSOHN, THOMAS;SAWATZKI, HARRY L.;AUDERSET, HEINRICH;SCHMID, GERT
分类号 G01B11/30;G01M11/02;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/10;G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):G01N21/88;G01N21/47 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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