Filtered cathodic arc source,申请号AU19960047265-传众专利搜索

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发明名称	Filtered cathodic arc source
摘要
申请公布号	AU4726596(A)	申请公布日期	1996.09.11
申请号	AU19960047265	申请日期	1996.02.20
申请人	AVIMO GROUP LIMITED	发明人	XU SHI;DAVID IAN FLYNN;BENG KANG TAY;HONG SIANG TAN
分类号	C23C14/22;H01J37/32	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
主权项
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