发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ELEMENT SEPARATION METHOD
摘要
申请公布号 EP0588565(A3) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 EP19930307142 申请日期 1993.09.10
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 MIYAI, YOICHI;TANOYA, NORIYUKI;OGATA, YUKIHIRO
分类号 H01L21/76;H01L21/765;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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