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发明名称 ECR ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08232086(A) 申请公布日期 1996.09.10
申请号 JP19950037441 申请日期 1995.02.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIOZAWA KENICHIRO;OGINO MASARU
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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