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发明名称 SPIN COATING METHOD AND SPIN COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08229486(A) 申请公布日期 1996.09.10
申请号 JP19950040374 申请日期 1995.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MURAKAMI KAZUYUKI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/32;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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