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发明名称 Solvents for Photoresist compositions
摘要
申请公布号 EP0273026(B1) 申请公布日期 1996.09.11
申请号 EP19870870199 申请日期 1987.12.22
申请人 SHIPLEY COMPANY INC. 发明人 DANIELS, BRIAN KENNETH;MADOUX, DAVID CHARLES;TEMPLETON, MICHAEL KARPOVICH;TREFONAS III, PETER;WOODBREY, JAMES CALVIN;ZAMPINI, ANTHONY
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/016;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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