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发明名称 EXTREMELY HIGH VACUUM PUMP SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08232840(A) 申请公布日期 1996.09.10
申请号 JP19950057997 申请日期 1995.02.22
申请人 OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO:KK 发明人 IIZUKA MOTOAKI;MARUYAMA TAKASHI;IGUCHI MASASHI;OKAMOTO MASATOMO
分类号 F04D19/04;F04B37/02;F04B37/16;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
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