发明名称 Verfahren zur schnellen thermischen Behandlung zur Erhaltung von Silikatglasbeschichtungen
摘要
申请公布号 DE69117353(T2) 申请公布日期 1996.09.05
申请号 DE19916017353T 申请日期 1991.05.31
申请人 DOW CORNING CORP., MIDLAND, MICH., US 发明人 CHANDRA, GRISH, MIDLAND, MICHIGAN 48640, US;GENTLE, THERESA EILEEN, MIDLAND, MICHIGAN 48640, US
分类号 B05D3/06;C08J7/04;C09D183/00;C09D183/02;C23C18/12;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/56;C04B41/50;C08J3/28 主分类号 B05D3/06
代理机构 代理人
主权项
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