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发明名称 Vakuumsprozessvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69303844(D1) 申请公布日期 1996.09.05
申请号 DE1993603844 申请日期 1993.03.18
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MAKINO, AKITAKA, KUDAAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;TAMURA, NAOYUKI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KAJI, TETSUNORI, TOKUYAMA-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 B01J3/02;B01J19/08;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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