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发明名称
Vorrichtung zum Anbringen und/oder Entfernen einer Maske an einem Substrat
摘要
申请公布号
DE59303361(D1)
申请公布日期
1996.09.05
申请号
DE19935003361
申请日期
1993.09.06
申请人
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE
发明人
ZEJDA, JAROSLAV, D-63517 RODENBACH, DE
分类号
C23C14/04;C23C14/56;G11B5/855;G11B7/26;(IPC1-7):C23C14/04
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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