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发明名称
BESTIMMTE DREIKERNIGE NOVOLAKOLIGOMERDERIVATE ALS PHOTOAKTIVE VERBINDUNGEN UND IHRE VERWENDUNG IN STRAHLUNGSEMPFINDLICHEN MISCHUNGEN
摘要
申请公布号
DE68926351(T2)
申请公布日期
1996.09.05
申请号
DE19896026351T
申请日期
1989.12.16
申请人
OCG MICROELECTRONICS MATERIALS, INC., CHESHIRE, CONN., US
发明人
JEFFRIES, ALFRED, T., III, PROVIDENCE, RI 02907, US;BLAKENEY, ANDREW, J., SEEKONK, MA 02271, US;TOUKHY, MEDHAT, A., BARRINGTON, RI 02806, US
分类号
C07C39/15;C07C39/16;C07C39/367;C07C309/76;C08G8/08;C08G8/20;C08G8/22;C08G8/28;C08L61/04;C08L61/14;C09D5/00;C09D5/32;C09D161/04;C09D161/14;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/023;C08G8/24
主分类号
C07C39/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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