发明名称 Verfahren zur Herstellung dünner Schichten metastabiler binärer Verbindungen
摘要
申请公布号 DE68925459(T2) 申请公布日期 1996.09.05
申请号 DE19896025459T 申请日期 1989.10.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BREZOCZKY, BLASIUS, SAN JOSE CALIFORNIA 95120, US;CUOMO, JEROME J., LINCOLNDALE, N.Y. 10540, US;GUARNIERI, C. RICHARD, SOMERS, N.Y. 10589, US;RAMANATHAN, KUMBAKONAM V., TROY, N.Y. 12180, US
分类号 C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;G11B5/84;G11B5/85;(IPC1-7):G11B5/84;C23C14/22;C23C16/30;C23C16/56 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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