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发明名称 Radiation-sensitive positive resist composition
摘要
申请公布号 EP0443607(B1) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 EP19910102631 申请日期 1991.02.22
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 HIOKI, TAKESHI;KURIO, SEIKO;UETANI, YASUNORI;DOI, YASUNORI
分类号 C08G8/24;G03F7/023;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 C08G8/24
代理机构 代理人
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