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发明名称
摘要
申请公布号	JP2530551(B2)	申请公布日期	1996.09.04
申请号	JP19930039050	申请日期	1993.02.26
申请人	DOI TOSHIRO;RODEERU NITSUTA KK;ENU TEI TEI EREKUTORONIKUSU TEKUNOROJII KK	发明人	DOI TOSHIRO;SAKURAI TETSUTADA;HAYASHI YONEJI
分类号	H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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