| 发明名称 |
Cathode arc source and graphite target |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9615548(D0) |
申请公布日期 |
1996.09.04 |
| 申请号 |
GB19960015548 |
申请日期 |
1996.07.24 |
| 申请人 |
NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/34;H01J27/14;H01J37/32;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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