Acceleration sensor

摘要

Beschleunigungssensor mit einem über einem Substrat (1) beweglich angebrachten Masseteil (2), mit Paaren von Elektroden (31, 41; 32, 43; 32, 42; 33, 43; 34, 44), von denen je eine unter und je eine über dem Masseteil angeordnet ist, bei dem über eine elektronische Ansteuerschaltung an das elektrisch leitend dotierte Masseteil und diese relativ zum Substrat fest angebrachten Elektroden regelbare elektrische Spannungen derart angelegt werden können, daß Auslenkungen des Masseteiles elektrostatisch kompensiert und gleichzeitig die Größe auftretender Trägheitskräfte und damit die Größe auftretender Beschleunigungen gemessen werden können.