发明名称 Processes for the scubbing of noxious substances
摘要
申请公布号 GB9614849(D0) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 GB19960014849 申请日期 1996.07.15
申请人 BOC GROUP, THE PLC 发明人
分类号 B01D53/70;B01J4/00;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 B01D53/70
代理机构 代理人
主权项
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