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发明名称 TREATING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR960011930(B1) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 KR19920006076 申请日期 1992.04.11
申请人 TOSHIBA K.K. 发明人 TSUKATA, GOUKI
分类号 B28D5/00;H01J37/304;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
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