镀有金色渐变交替层的部件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种镀有金色渐变交替层的部件及其制备方法，该方法是在圆形真空室的外壁，沿圆周分布四组阴极电弧源和磁控溅射源，其中三组为Ti或Ti合金，另一组为Au或Au合金。镀件在真空室内沿圆周公转的同时自转，公转与自转的比例为1∶2～3。镀膜过程中首先开启Ti源。并向真空室内通入N2气，当TiN层达到要求厚度后，同时开启Ti源和Au源，镀制渐变交替层。部件由基体和镀层组成，镀层由TiN层、渐变交替层和Au层组成。

主权项

1、一种镀有金色渐变交替层的部件的制造方法，该方法是在圆形真空室的外壁，沿圆周均匀分布产生镀膜气相的阴极电弧源和磁控溅射源，镀件置于真空室内，其特征在于镀膜源共有四组，其中三组镀膜源装的是纯Ti或Ti与Zr、Al中的一种或二种构成的合金，另一组镀膜源装的是纯Au或Au与Cu、Ni中的一种或二种构成的合金；所述的镀件在真空室沿圆周公转的同时自转，公转与自转的比例为1∶2～3；镀膜过程为首先开启Ti源，并向真空室内通入N2气，当TiN层达到要求厚度后，同时开启Ti源和Au源，镀制渐变交替层。