发明名称 Phase shift mask and method for fabricating the same
摘要
申请公布号 GB9613751(D0) 申请公布日期 1996.09.04
申请号 GB19960013751 申请日期 1996.07.01
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD 发明人
分类号 G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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