| 发明名称 |
ETCHING METHOD BY FERRIC CHLORIDE AND ETCHING DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08225962(A) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
JP19950032035 |
申请日期 |
1995.02.21 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
YAJIMA TORU;SEKIGUCHI HIROSHI |
| 分类号 |
C23F1/08;C23F1/18;H05K3/06;H05K3/26;(IPC1-7):C23F1/18 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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