| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08225921(A) |
申请公布日期 |
1996.09.03 |
| 申请号 |
JP19950028169 |
申请日期 |
1995.02.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ISHIDA TATSURO;SUGITA RYUJI;TOMA KIYOKAZU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/20;C23C14/22;C23C14/24;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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