发明名称 BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08227680(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19950030942 申请日期 1995.02.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAGA HIROYASU;HIROSE HIROSHI;IWATA KOJI
分类号 H01J37/20;H01J37/153;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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