发明名称
摘要
申请公布号 JPH08508315(A) 申请公布日期 1996.09.03
申请号 JP19940521092 申请日期 1994.03.07
申请人 发明人
分类号 F04B53/02;B01F3/02;B01J4/02;B01J7/00;C01B21/076;C01G1/00;C01G3/00;C01G23/00;C04B38/00;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;F04B53/16;F23K5/22;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 F04B53/02
代理机构 代理人
主权项
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